半導体がわかる本

半導体デバイスの製造プロセスを簡単に把握しようと思って買った本。

予想に反して、専門的な内容でした。
計算式なんかはないのだけど内容はたっぷりで、途中で心が折れました。

半導体の製造技術は、ここまで複雑で数多くのものがあるのかという発見でした。
酸化したり、不純物を拡散したりするにしても、気体を使ったり、固体を使ったり。

洗浄プロセスにしても、ドライやらウェットやら。
さらにはプラズマなんかも出てきちゃうんですね。
エッチングにしても、そう。

ひとつひとつに長所短所があるから、これだけ色々な技術が利用されているのでしょう。
そして、上手く選択して製造しないと、あれだけ精密で複雑なものは作れないということでしょう。